溫區(qū): 單溫區(qū)電爐
溫度: 室溫-1100℃ 室溫-1400℃
GSL-1200X雙溫區(qū)管式電爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),專(zhuān)門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
特點(diǎn):
1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)
高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性.
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
電源 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱溫度
最高溫度: 1100°C
連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)
加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
選擇:
雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
加熱和冷卻速度 最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，
( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )
加熱 冷卻
石英管 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法蘭
一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
爐子底部裝有一對(duì)滑軌
爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵) 10^-5 torr (分子泵)
可選鄭州科晶公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
溫控儀 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。
控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng) 4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
MFC 1范圍: 0~100 sccm
MFC 2范圍: 0~200 sccm
MFC 3范圍: 0~200 sccm
MFC 4范圍: 0~500 sccm
氣路: 4 路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
一個(gè)混氣罐.
每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。
通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量
真空泵安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr.
真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.
選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr
尺寸（mm) 爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597
凈重 300 lb
保修期 一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）
質(zhì)量認(rèn)證：
