溫區: 單溫區電爐 雙溫區電爐
溫度: 室溫-1100℃
GSL-1200X滑動式帶預加熱系統四路質子流量控制雙溫區PECVD管式電爐 是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區管式爐, 4通道質量流量供氣系統和無油機械泵機組，這款 PECVD系統可用于生長納米或石墨烯。
技術參數
可選爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80
產品優點
與傳統的CVD相比，只需較低的制備溫度
滑軌式快速加熱和快速冷卻
預加熱系統可提前預熱，預熱溫度范圍室溫-1100℃
兩個加熱區，溫度梯度最大可達 200℃
最高工作溫度1100℃
提供一個寬范圍的材料制備 ，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
等離子發射源
輸出功率: 5 -500W ± 1% .
射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
反射功率: 最大 200W
匹配: 自動
射頻接口: 50 Ω, N-type
噪音: <50 dB.
冷卻: 風冷
電源: AC 208-240V, 50/60Hz
無油真空泵機組
Pfeiffer（德國）高速( 226L/min) 無油干泵, 極限真空10E-3 Torr L
KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
管內真空可達10E-2 Torr
數字真空計安裝在左法蘭上.
可選：鄭州科晶公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。
質量流量計
四個精密的質量流量計(精度0.02% ) ：數字顯示，自動控制.
MFC 1范圍: 0~100 sccm
MFC 2和3: 0~200 sccm
MFC 4范圍: 0~500 sccm
一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.
4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體.
進氣口: 4個1/4NPS.
出氣口: 4個 1/4NPS.
控溫軟件
計算機可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費的，但需要購買數據線和一個控制模塊
為了獲得較大的升溫速度, 必須預熱到設定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。
為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區滑到冷區.
總尺寸
爐體: 550 x 380 x 520 mm
滑軌: 1750 mm 長
移動架: 1200 x 1200 x 600mm.
凈重: 100Kg.
質量認證：
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