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一種具有獨特的爐膛結構設計，有多個獨立可控的溫區，能一次性完成產品排膠、燒結保溫、可控降溫的全過程的一種高溫爐。運行速度平穩無噪聲，下降速度無級可調。爐膛保溫材料采用節能型纖維升﹑降溫度快,爐溫均勻，燒結產品一致性好。

    在擴散爐口徑變大以后恒溫區的橫截面溫度差臥式爐比立式大得多，立式爐更能滿足工藝要求；立式爐為達到特殊工藝要求甚至更低，使之滿足薄膜工藝要求，箱式電爐、立式爐有利于滿足自動化水平，實現自動裝卸片；立式爐能在工藝過程中硅片在高溫狀態易變形,水平放置硅片變形?。?/P>

    立式爐具有獨特的爐膛結構設計，有多個獨立可控的溫區，能一次性完成產品排膠、燒結保溫、可控降溫的全過程。溫控采用數顯移相電壓調，管式電爐傳動系統無離合機構，采用控制步進電機，運行速度平穩無噪聲，下降速度無級可調。

    爐膛保溫材料采用節能型纖維，升﹑降溫度快,爐溫均勻，燒結產品一致性好。能在在高溫擴散及硅片破碎時，使立式爐不需要清洗反應管和石英舟，管式爐反應部位的粘附物、顆粒少得作用。


    立式爐可通氣氛抽真空，材質是石英管，配有石英管和真空密封法蘭系統，可以在流動氣氛和真空狀態下快速加熱和淬火樣品。精密的控溫儀升降溫，控溫精度。安裝在可移動支架上方便移動。